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1、乱流式。空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

2、层流式。层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率....之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。

3、复合式。复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。